湿度、纯度、分解物三种功能亦可两两组合，以满足不同应用场合。具体型号，功能对应如下：
序号 | 型号 | 功能 |
1 | FCD30 | 微水、纯度、分解物三合一 |
2 | FD30 | 微水、分解物二合一 |
3 | FC30 | 纯度、分解物二合一 |
4 | DC30 | 纯度、微水二合一 |
技术指标
SF6湿度：
测量范围：露点-80～+20℃（支持ppmv等）
露点精度：±0.4℃（当露点温度低于0℃，传感器输出为霜点）
响应时间：63％[90％] +20→-20℃ Td 5s[45s] -20→-60℃ Td 10s[240s]
分 辨 率：露点0.1℃或0.1ppm
重 复 性：±0.4℃
气体流量：湿度测量时：0.8～0.9L/min、纯度测量时：0.5～0.7L/min
电子质量流量计
样气流速无影响
压力测量：0～1.0MPa
探头保护：不锈钢烧结过滤网
SF6纯度：
范 围： 0～100% SF6；
精度和重复性： ±0.1%，与流量无关；
响应时间：30S
SF6分解产物：
H2S： 0～200ppm 精度：≤±1%；
SO2：0～100ppm精度：≤±1%；
CO: 0～500ppm 精度：≤±1%
HF: 0～10ppm 精度：≤±1%
灵敏度：0.1 ppm
重复性：≤±1%
通用部分：
工作电压： 220VAC±10% 50Hz，交直流两用，过充保护，
连续工作不低于5小时
储存温度等级： -40～+70℃
输出接口： USB1.1规范
数据存储：可存储200条记录
操作环境： 温 度： -30～+60℃
压 力： 0～20bar
样气流速： 无影响
其它配置：标准版管理软件，含报表打印，湿度常用转换工具包
尺 寸：132×283×308
重 量：约4.3kg
